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公開：2024-09-17

東陽テクニカがM91 FastHall Stationの温度特性評価範囲を拡大、半導体材料評価の精度と効率が向上

text: XEXEQ編集部
（記事は執筆時の情報に基づいており、現在では異なる場合があります）

記事の要約

• 東陽テクニカがM91 FastHall Stationの温度特性評価範囲を拡大
• 78Kから500Kまでの幅広い温度範囲で半導体材料の評価が可能に
• 第85回応用物理学会で国内初発表予定

M91 FastHall Stationの温度特性評価範囲拡大によって半導体材料の評価が向上

東陽テクニカは、Lake Shore Cryotronics社製の比抵抗／ホール測定システム「M91 FastHall Station」の温度特性評価範囲を拡大したことを2024年9月17日に発表した。このシステムは、Lake Shore社の特許技術を利用し、半導体材料の評価を高速かつ高精度で実施できる。今回の拡張により、低温78Kから高温500Kまでの幅広い温度範囲で評価が可能になった。^[1]

M91 FastHall Stationは、コンパクトかつ省スペースでありながら、従来のシステムと比較して高速測定が可能である。磁場反転を必要としない特許技術FastHall測定技術を搭載しており、半導体の生産工程における計測システムとして活用されている。この温度特性評価範囲の拡大により、ウエハーなどの半導体材料の生産ラインにおける品質検査の効率化が期待できる。

基礎研究分野においても、本システムの拡張された温度範囲は重要な意味を持つ。室温測定のみでは見えてこない特性、キャリア濃度の変化から活性化エネルギー、移動度が急変する結晶構造の転移点の見極めなど、温度変化に伴う材料の挙動を詳細に観察することが可能になった。東陽テクニカは、この製品を通じて半導体材料の生産工程の品質向上および効率化に貢献していく方針だ。

M91 FastHall Stationの主な特長まとめ

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FastHall測定技術について

FastHall測定技術とは、Lake Shore社が開発した半導体材料の電気特性を高速かつ高精度に測定するための特許技術である。主な特徴として、以下のような点が挙げられる。

• 磁場反転を必要としない測定方法
• 従来の手法と比較して高速測定が可能
• 高精度な比抵抗／ホール効果測定を実現

FastHall測定技術は、M91 FastHall Stationに搭載されており、半導体材料の生産工程における品質管理に大きく貢献している。この技術により、パワーデバイスや太陽電池、熱電材料など、さまざまな新規半導体材料の電気特性を効率的に評価することが可能になった。特に今回の温度特性評価範囲の拡大により、より幅広い条件下での材料評価が実現し、研究開発や製品品質の向上に寄与すると期待されている。

M91 FastHall Stationの温度特性評価範囲拡大に関する考察

M91 FastHall Stationの温度特性評価範囲拡大は、半導体材料の研究開発と生産プロセスに大きな利点をもたらす。78Kから500Kという広範囲の温度域で測定が可能になったことで、極低温から高温までの材料特性を一貫して評価できるようになり、より包括的なデータ収集が実現した。この拡張された温度範囲は、特に新規半導体材料の開発や、既存材料の性能限界の探索において重要な役割を果たすだろう。

しかしながら、この拡大された温度範囲での測定には新たな課題も生じる可能性がある。極低温や高温での測定では、サンプルの熱膨張や収縮、熱応力による構造変化など、測定精度に影響を与える要因が増加する。これらの影響を最小限に抑え、正確なデータを得るためには、温度制御や測定環境の最適化といった技術的な課題に取り組む必要があるだろう。

今後、M91 FastHall Stationにはさらなる機能の拡張が期待される。例えば、in-situ測定機能の追加により、材料の成長過程や加工プロセス中のリアルタイム評価が可能になれば、製造プロセスの最適化に大きく貢献するだろう。また、AIを活用したデータ解析機能の統合により、大量の測定データから有用な情報を迅速に抽出し、材料開発のスピードアップにつながることが期待される。

参考サイト

1. ^ PR TIMES. 「比抵抗／ホール測定システム「M91 FastHall Station」の温度特性の評価範囲が拡大 | 株式会社東陽テクニカのプレスリリース」. https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000146.000075068.html, (参照 24-09-17).

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