キヤノンMJ、Sigray社製ナノ3DX線顕微鏡ApexHybrid-200TMを発売、半導体検査の効率化に貢献

text: XEXEQ編集部
（記事は執筆時の情報に基づいており、現在では異なる場合があります）

PR TIMES より

記事の要約

キヤノンマーケティングジャパン株式会社（キヤノンMJ）は、2025年5月26日より、Sigray社製のハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡“ApexHybrid-200TM”の国内独占販売を開始した。この顕微鏡は、直交入射と斜入射の両モードに対応し、最高空間分解能400nm以下を実現しているのだ。

複雑化する半導体製品や全固体電池の開発において、迅速かつ高精度な解析技術が求められている。ApexHybrid-200TMは、大型サンプルから微小なチップレットまで、様々なサイズのサンプルに対応できるため、これらのニーズに応えることができるだろう。

直交入射モードは高い空間分解能で微細構造を捉え、斜入射モード（精密角度ラミノグラフィ）は大型サンプルの非破壊検査を短時間（約15分、シリコンウエハーの場合）で行える。これにより、効率的な故障解析や研究開発を支援するのだ。

キヤノンMJは今後5年間で30台以上の販売を目指すとしている。

項目	詳細
製品名	ハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡“ApexHybrid-200TM”
価格	3～3.5億円（税別、標準仕様）
発売日	2025年5月26日
空間分解能	400nm以下
対応サンプルサイズ	最大225mmΦ（PALモード）
測定時間(PALモード)	約15分（シリコンウエハーの場合）

“ApexHybrid-200TM”は、直交入射と斜入射の2種類のX線入射モードを搭載している。このハイブリッド型設計が、様々なサンプルの解析を可能にしているのだ。

これにより、半導体、電池、材料科学など幅広い分野での活用が期待される。

ApexHybrid-200TMは、高い空間分解能と大型サンプル対応という両立が大きなメリットだ。半導体や全固体電池といった最先端分野の研究開発を加速させる可能性を秘めている。しかし、高価格であるため、導入障壁が高いという課題も存在するだろう。

今後、技術革新によるコスト削減や、より簡便な操作性の実現が求められる。また、解析ソフトウェアの機能強化や、様々な材料に対応できるデータベースの構築なども重要となるだろう。これらの課題をクリアすることで、より多くの研究者や企業が本装置を活用できるようになるはずだ。

さらに、AIを活用した自動解析機能の追加や、クラウド連携によるデータ管理システムの構築なども期待したい。これにより、解析の効率化と高度化が実現し、更なる研究開発の進展に貢献できるだろう。

^ PR TIMES. 「Sigray社のハイブリッド型ナノ3DＸ線顕微鏡“ApexHybrid-200TM”を発売 | キヤノンマーケティングジャパン株式会社のプレスリリース」. https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000001276.000013943.html, (参照 25-05-27).

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